Презентация Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС онлайн
На нашем сайте вы можете скачать и просмотреть онлайн доклад-презентацию на тему Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС абсолютно бесплатно. Урок-презентация на эту тему содержит всего 32 слайда. Все материалы созданы в программе PowerPoint и имеют формат ppt или же pptx. Материалы и темы для презентаций взяты из открытых источников и загружены их авторами, за качество и достоверность информации в них администрация сайта не отвечает, все права принадлежат их создателям. Если вы нашли то, что искали, отблагодарите авторов - поделитесь ссылкой в социальных сетях, а наш сайт добавьте в закладки.
Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
- Тип файла:ppt / pptx (powerpoint)
- Всего слайдов:32 слайда
- Для класса:1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
- Размер файла:4.74 MB
- Просмотров:112
- Скачиваний:3
- Автор:неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд
Содержание слайда: Наномеханика
Nanomechanics of materials and systems
Лекция 12
Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС
Materials and technologies of nano- and micro-electro-mechanical systems NEMS/MEMS
№2 слайд
Содержание слайда: Базовый цикл создания НЭМС. Base cycle of NEMS formation.
№3 слайд
Содержание слайда: Литография Lithography
Нанесение резиста
Перенесение изображения маски на резист
Селективное травление резиста и материала под ним
№4 слайд
Содержание слайда: Травление Etching
№5 слайд
Содержание слайда: Травление кремния Etching of Si
№6 слайд
Содержание слайда: Профиль травления Etch profile
№7 слайд
Содержание слайда: Анизотропное травление Anisotropic etching
№8 слайд
Содержание слайда: Анизотропное травление Anisotropic etching
№9 слайд
Содержание слайда: Формирование подвешенных нано-балок
Suspended nano/micro beams
№10 слайд
Содержание слайда: Мембрана над полостью Suspended membrane
№11 слайд
Содержание слайда: Электро-химическое травление Electro-chemical etching
№12 слайд
Содержание слайда: Подвешенный островок кремния Suspended Si island
№13 слайд
Содержание слайда: DRIE
№14 слайд
Содержание слайда: Зависимость скорости травления от формы.
Aspect-ratio-dependent etching in DRIE.
№15 слайд
Содержание слайда: DRIE
№16 слайд
Содержание слайда: Анодное сращивание. Anodic bonding
№17 слайд
Содержание слайда: Прямое сращивание кремния и поликремния
Direct bonding of Si
№18 слайд
Содержание слайда: Химико-механическая полировка
Chemical-mechanical polishing
№19 слайд
Содержание слайда: Sol-gel deposition
№20 слайд
Содержание слайда: Лазерная обработка Laser machining
№21 слайд
Содержание слайда: Гальваническое осаждение. Galvanic deposition.
№22 слайд
Содержание слайда: Ультразвуковая шлифовка. Ultrasonic treatment.
№23 слайд
Содержание слайда: Цикл формирования НЭМС. Example
№24 слайд
Содержание слайда: Некоторые пары конструкционных и вспомогательных материалов МЭМС. Structural and sacrificial materials.
№25 слайд
Содержание слайда: Закритическое высушивание. Supercritical drying.
№26 слайд
Содержание слайда: Комбинирование сращивания и DRIE
Combination of bonding and DRIE
№27 слайд
Содержание слайда: Комбинирование сращивания и DRIE
Combination of bonding and DRIE
№28 слайд
Содержание слайда: Комбинирование Combination SOI - DRIE
№29 слайд
Содержание слайда: Комбинирование Combination SOI - DRIE
№30 слайд
Содержание слайда: Микро- и нано-сопла для струйных принтеров и систем инжекции топлива. Micro/nano-nozzles.
№31 слайд
Содержание слайда: Микро- и нано-сопла с боковым выходом.
Micro/nano-nozzles and channels.
№32 слайд
Содержание слайда: Наношарниры Nanohinge
Скачать все slide презентации Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС одним архивом:
