Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
Тип файла:
ppt / pptx (powerpoint)
Всего слайдов:
32 слайда
Для класса:
1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
Размер файла:
4.74 MB
Просмотров:
112
Скачиваний:
3
Автор:
неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд![Наномеханика Nanomechanics of](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img0.jpg)
Содержание слайда: Наномеханика
Nanomechanics of materials and systems
Лекция 12
Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС
Materials and technologies of nano- and micro-electro-mechanical systems NEMS/MEMS
№2 слайд![Базовый цикл создания НЭМС.](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img1.jpg)
Содержание слайда: Базовый цикл создания НЭМС. Base cycle of NEMS formation.
№3 слайд![Литография Lithography](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img2.jpg)
Содержание слайда: Литография Lithography
Нанесение резиста
Перенесение изображения маски на резист
Селективное травление резиста и материала под ним
№4 слайд![Травление Etching](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img3.jpg)
Содержание слайда: Травление Etching
№5 слайд![Травление кремния Etching of](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img4.jpg)
Содержание слайда: Травление кремния Etching of Si
№6 слайд![Профиль травления Etch profile](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img5.jpg)
Содержание слайда: Профиль травления Etch profile
№7 слайд![Анизотропное травление](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img6.jpg)
Содержание слайда: Анизотропное травление Anisotropic etching
№8 слайд![Анизотропное травление](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img7.jpg)
Содержание слайда: Анизотропное травление Anisotropic etching
№9 слайд![Формирование подвешенных](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img8.jpg)
Содержание слайда: Формирование подвешенных нано-балок
Suspended nano/micro beams
№10 слайд![Мембрана над полостью](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img9.jpg)
Содержание слайда: Мембрана над полостью Suspended membrane
№11 слайд![Электро-химическое травление](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img10.jpg)
Содержание слайда: Электро-химическое травление Electro-chemical etching
№12 слайд![Подвешенный островок кремния](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img11.jpg)
Содержание слайда: Подвешенный островок кремния Suspended Si island
№13 слайд![DRIE](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img12.jpg)
№14 слайд![Зависимость скорости](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img13.jpg)
Содержание слайда: Зависимость скорости травления от формы.
Aspect-ratio-dependent etching in DRIE.
№15 слайд![DRIE](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img14.jpg)
№16 слайд![Анодное сращивание. Anodic](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img15.jpg)
Содержание слайда: Анодное сращивание. Anodic bonding
№17 слайд![Прямое сращивание кремния и](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img16.jpg)
Содержание слайда: Прямое сращивание кремния и поликремния
Direct bonding of Si
№18 слайд![Химико-механическая полировка](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img17.jpg)
Содержание слайда: Химико-механическая полировка
Chemical-mechanical polishing
№19 слайд![Sol-gel deposition](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img18.jpg)
Содержание слайда: Sol-gel deposition
№20 слайд![Лазерная обработка Laser](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img19.jpg)
Содержание слайда: Лазерная обработка Laser machining
№21 слайд![Гальваническое осаждение.](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img20.jpg)
Содержание слайда: Гальваническое осаждение. Galvanic deposition.
№22 слайд![Ультразвуковая шлифовка.](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img21.jpg)
Содержание слайда: Ультразвуковая шлифовка. Ultrasonic treatment.
№23 слайд![Цикл формирования НЭМС.](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img22.jpg)
Содержание слайда: Цикл формирования НЭМС. Example
№24 слайд![Некоторые пары](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img23.jpg)
Содержание слайда: Некоторые пары конструкционных и вспомогательных материалов МЭМС. Structural and sacrificial materials.
№25 слайд![Закритическое высушивание.](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img24.jpg)
Содержание слайда: Закритическое высушивание. Supercritical drying.
№26 слайд![Комбинирование сращивания и](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img25.jpg)
Содержание слайда: Комбинирование сращивания и DRIE
Combination of bonding and DRIE
№27 слайд![Комбинирование сращивания и](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img26.jpg)
Содержание слайда: Комбинирование сращивания и DRIE
Combination of bonding and DRIE
№28 слайд![Комбинирование Combination](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img27.jpg)
Содержание слайда: Комбинирование Combination SOI - DRIE
№29 слайд![Комбинирование Combination](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img28.jpg)
Содержание слайда: Комбинирование Combination SOI - DRIE
№30 слайд![Микро- и нано-сопла для](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img29.jpg)
Содержание слайда: Микро- и нано-сопла для струйных принтеров и систем инжекции топлива. Micro/nano-nozzles.
№31 слайд![Микро- и нано-сопла с боковым](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img30.jpg)
Содержание слайда: Микро- и нано-сопла с боковым выходом.
Micro/nano-nozzles and channels.
№32 слайд![Наношарниры Nanohinge](/documents_6/19ab65656fe2f5fb4c286422cc7ae50b/img31.jpg)
Содержание слайда: Наношарниры Nanohinge