Презентация Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4) онлайн
На нашем сайте вы можете скачать и просмотреть онлайн доклад-презентацию на тему Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4) абсолютно бесплатно. Урок-презентация на эту тему содержит всего 45 слайдов. Все материалы созданы в программе PowerPoint и имеют формат ppt или же pptx. Материалы и темы для презентаций взяты из открытых источников и загружены их авторами, за качество и достоверность информации в них администрация сайта не отвечает, все права принадлежат их создателям. Если вы нашли то, что искали, отблагодарите авторов - поделитесь ссылкой в социальных сетях, а наш сайт добавьте в закладки.
Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
- Тип файла:ppt / pptx (powerpoint)
- Всего слайдов:45 слайдов
- Для класса:1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
- Размер файла:16.57 MB
- Просмотров:58
- Скачиваний:0
- Автор:неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд
Содержание слайда: Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода
Горячие носители
DIBL – эффект
Глубинное смыкание ОПЗ стока и истока
Уменьшение подвижности носителей
Для их устранения необходимо создавать:
1. LDD –структуру
2. Гало – области
3. «кармашки»
4. Скрытые охранные области
№2 слайд
Содержание слайда: Ограничения, связанные со смыканием областей ОПЗ истока и стока при уменьшении длины канала
№3 слайд
Содержание слайда: Механизм образования горячих носителей
№4 слайд
Содержание слайда: LDD структура стока
№5 слайд
Содержание слайда: Зависимость подвижности носителей от концентрации примеси и величины электрического поля
№6 слайд
Содержание слайда: Зависимость подвижности носителей от температуры и электрического поля
№7 слайд
Содержание слайда: Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ
№8 слайд
Содержание слайда: Конструкция и проблемы формирования наноразмерной КМОП структуры
№9 слайд
Содержание слайда: Мелкая щелевая изоляция
- ограниченные литографией
размеры
- независимость ширины от глубины
- малая электрическая емкость
- отсутствие необходимости
в сплошном окислении
- паразитные связи
№10 слайд
Содержание слайда: Составной затвор
- разные величины работы выхода
для затворов n- или p- типов
- низкое поверхностное сопротивление
- отсутствие проникновения бора
- жесткий контроль размеров
№11 слайд
Содержание слайда: Исток/сток
- мелкая область исток/стока
для подавления короткоканальных
эффектов
- оптимизация концентрационных
профилей для повышения надежности
и улучшения характеристик
- низкое поверхностное сопротивление
№12 слайд
Содержание слайда: Подзатворный диэлектрик
- очень тонкий для подавления
короткоканальных эффектов
и увеличения тока стока
- ограничения: плотность дефектов,
туннельный ток, надежность
№13 слайд
Содержание слайда: Неоднородно
легированный канал
- подавление короткоканальных
эффектов
- гало-области для подавления
спада Uп при уменьшении Lк
- уменьшение емкости p-n переходов
№14 слайд
Содержание слайда: ЛЕКЦИЯ 4
Формирование боковой диэлектрической изоляции в КМОП БИС
№15 слайд
Содержание слайда: Изоляция элементов КМОП структуры
№16 слайд
Содержание слайда: Пороговое напряжение МОП-транзистора
Выравнивание зон Обеднение Инверсия
= + + 2
№17 слайд
Содержание слайда: ЛОКОС - процесс
№18 слайд
Содержание слайда: Образование «Птичьего клюва»
№19 слайд
Содержание слайда: «Птичий клюв»
№20 слайд
Содержание слайда: Влияние толщины буферного окисла на длину «птичьего клюва» и плотность дефектов
№21 слайд
Содержание слайда: Влияние толщины нитрида на длину «птичьего клюва»
и время маскирования
№22 слайд
Содержание слайда: Побочные эффекты при локальном окислении
№23 слайд
Содержание слайда: Маршрут изготовления
VIP –структуры
№24 слайд
Содержание слайда: Этапы формирования щелевой изоляции
№25 слайд
Содержание слайда: Виды щелевой изоляции
№26 слайд
Содержание слайда: Эффект защелкивания в КМОП структуре
№27 слайд
Содержание слайда: Глубокая щелевая изоляция в
КМОП-структуре
№28 слайд
Содержание слайда: Щелевая изоляция – твердая маска при формировании карманов
№29 слайд
Содержание слайда: Щелевая изоляция – твердая маска при формировании областей сток/исток
Электрод затвора
№30 слайд
Содержание слайда: Зависимость ширины щели от минимального размера
№31 слайд
Содержание слайда: Паразитный МОП транзистор
№32 слайд
Содержание слайда: Влияние температуры и среды на перераспределение примеси при окислении кремния
(N в кремнии/N в оксиде)
№33 слайд
Содержание слайда: Боковые инверсные каналы
№34 слайд
Содержание слайда: Пути токов утечек в КМОП инверторах
№35 слайд
Содержание слайда: Подлегирование боковых стенок с помощью имплантации бора
№36 слайд
Содержание слайда: Подлегирование боковых стенок диффузией из поверхностного источника
№37 слайд
Содержание слайда: Процесс формирования щелевой изоляции
№38 слайд
Содержание слайда: Микрофотография вытравленных щелей
№39 слайд
Содержание слайда: Подтравливание окисла кремния
№40 слайд
Содержание слайда: Влияние метода окисления на округление угла меза структуры
№41 слайд
Содержание слайда: Микрофотография МОП структуры после осаждения поликремния
№42 слайд
Содержание слайда: Технологические режимы формирования щелевой изоляции
№43 слайд
Содержание слайда: Формирование щели
№44 слайд
Содержание слайда: Создание охранной облаксти
№45 слайд
Содержание слайда: Формирование изолирующей области
Скачать все slide презентации Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4) одним архивом:
