Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
Тип файла:
ppt / pptx (powerpoint)
Всего слайдов:
45 слайдов
Для класса:
1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
Размер файла:
16.57 MB
Просмотров:
58
Скачиваний:
0
Автор:
неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд![Короткоканальные эффекты,](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img0.jpg)
Содержание слайда: Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода
Горячие носители
DIBL – эффект
Глубинное смыкание ОПЗ стока и истока
Уменьшение подвижности носителей
Для их устранения необходимо создавать:
1. LDD –структуру
2. Гало – области
3. «кармашки»
4. Скрытые охранные области
№2 слайд![Ограничения, связанные со](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img1.jpg)
Содержание слайда: Ограничения, связанные со смыканием областей ОПЗ истока и стока при уменьшении длины канала
№3 слайд![Механизм образования горячих](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img2.jpg)
Содержание слайда: Механизм образования горячих носителей
№4 слайд![LDD структура стока](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img3.jpg)
Содержание слайда: LDD структура стока
№5 слайд![Зависимость подвижности](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img4.jpg)
Содержание слайда: Зависимость подвижности носителей от концентрации примеси и величины электрического поля
№6 слайд![Зависимость подвижности](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img5.jpg)
Содержание слайда: Зависимость подвижности носителей от температуры и электрического поля
№7 слайд![Структура областей исток-сток](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img6.jpg)
Содержание слайда: Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ
№8 слайд![Конструкция и проблемы](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img7.jpg)
Содержание слайда: Конструкция и проблемы формирования наноразмерной КМОП структуры
№9 слайд![Мелкая щелевая изоляция -](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img8.jpg)
Содержание слайда: Мелкая щелевая изоляция
- ограниченные литографией
размеры
- независимость ширины от глубины
- малая электрическая емкость
- отсутствие необходимости
в сплошном окислении
- паразитные связи
№10 слайд![Составной затвор - разные](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img9.jpg)
Содержание слайда: Составной затвор
- разные величины работы выхода
для затворов n- или p- типов
- низкое поверхностное сопротивление
- отсутствие проникновения бора
- жесткий контроль размеров
№11 слайд![Исток сток - мелкая область](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img10.jpg)
Содержание слайда: Исток/сток
- мелкая область исток/стока
для подавления короткоканальных
эффектов
- оптимизация концентрационных
профилей для повышения надежности
и улучшения характеристик
- низкое поверхностное сопротивление
№12 слайд![Подзатворный диэлектрик -](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img11.jpg)
Содержание слайда: Подзатворный диэлектрик
- очень тонкий для подавления
короткоканальных эффектов
и увеличения тока стока
- ограничения: плотность дефектов,
туннельный ток, надежность
№13 слайд![Неоднородно легированный](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img12.jpg)
Содержание слайда: Неоднородно
легированный канал
- подавление короткоканальных
эффектов
- гало-области для подавления
спада Uп при уменьшении Lк
- уменьшение емкости p-n переходов
№14 слайд![ЛЕКЦИЯ Формирование боковой](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img13.jpg)
Содержание слайда: ЛЕКЦИЯ 4
Формирование боковой диэлектрической изоляции в КМОП БИС
№15 слайд![Изоляция элементов КМОП](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img14.jpg)
Содержание слайда: Изоляция элементов КМОП структуры
№16 слайд![Пороговое напряжение](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img15.jpg)
Содержание слайда: Пороговое напряжение МОП-транзистора
Выравнивание зон Обеднение Инверсия
= + + 2
№17 слайд![ЛОКОС - процесс](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img16.jpg)
Содержание слайда: ЛОКОС - процесс
№18 слайд![Образование Птичьего клюва](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img17.jpg)
Содержание слайда: Образование «Птичьего клюва»
№19 слайд![Птичий клюв](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img18.jpg)
Содержание слайда: «Птичий клюв»
№20 слайд![Влияние толщины буферного](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img19.jpg)
Содержание слайда: Влияние толщины буферного окисла на длину «птичьего клюва» и плотность дефектов
№21 слайд![Влияние толщины нитрида на](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img20.jpg)
Содержание слайда: Влияние толщины нитрида на длину «птичьего клюва»
и время маскирования
№22 слайд![Побочные эффекты при](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img21.jpg)
Содержание слайда: Побочные эффекты при локальном окислении
№23 слайд![Маршрут изготовления VIP](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img22.jpg)
Содержание слайда: Маршрут изготовления
VIP –структуры
№24 слайд![Этапы формирования щелевой](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img23.jpg)
Содержание слайда: Этапы формирования щелевой изоляции
№25 слайд![Виды щелевой изоляции](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img24.jpg)
Содержание слайда: Виды щелевой изоляции
№26 слайд![Эффект защелкивания в КМОП](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img25.jpg)
Содержание слайда: Эффект защелкивания в КМОП структуре
№27 слайд![Глубокая щелевая изоляция в](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img26.jpg)
Содержание слайда: Глубокая щелевая изоляция в
КМОП-структуре
№28 слайд![Щелевая изоляция твердая](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img27.jpg)
Содержание слайда: Щелевая изоляция – твердая маска при формировании карманов
№29 слайд![Щелевая изоляция твердая](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img28.jpg)
Содержание слайда: Щелевая изоляция – твердая маска при формировании областей сток/исток
Электрод затвора
№30 слайд![Зависимость ширины щели от](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img29.jpg)
Содержание слайда: Зависимость ширины щели от минимального размера
№31 слайд![Паразитный МОП транзистор](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img30.jpg)
Содержание слайда: Паразитный МОП транзистор
№32 слайд![Влияние температуры и среды](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img31.jpg)
Содержание слайда: Влияние температуры и среды на перераспределение примеси при окислении кремния
(N в кремнии/N в оксиде)
№33 слайд![Боковые инверсные каналы](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img32.jpg)
Содержание слайда: Боковые инверсные каналы
№34 слайд![Пути токов утечек в КМОП](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img33.jpg)
Содержание слайда: Пути токов утечек в КМОП инверторах
№35 слайд![Подлегирование боковых стенок](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img34.jpg)
Содержание слайда: Подлегирование боковых стенок с помощью имплантации бора
№36 слайд![Подлегирование боковых стенок](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img35.jpg)
Содержание слайда: Подлегирование боковых стенок диффузией из поверхностного источника
№37 слайд![Процесс формирования щелевой](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img36.jpg)
Содержание слайда: Процесс формирования щелевой изоляции
№38 слайд![Микрофотография вытравленных](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img37.jpg)
Содержание слайда: Микрофотография вытравленных щелей
№39 слайд![Подтравливание окисла кремния](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img38.jpg)
Содержание слайда: Подтравливание окисла кремния
№40 слайд![Влияние метода окисления на](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img39.jpg)
Содержание слайда: Влияние метода окисления на округление угла меза структуры
№41 слайд![Микрофотография МОП структуры](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img40.jpg)
Содержание слайда: Микрофотография МОП структуры после осаждения поликремния
№42 слайд![Технологические режимы](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img41.jpg)
Содержание слайда: Технологические режимы формирования щелевой изоляции
№43 слайд![Формирование щели](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img42.jpg)
Содержание слайда: Формирование щели
№44 слайд![Создание охранной облаксти](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img43.jpg)
Содержание слайда: Создание охранной облаксти
№45 слайд![Формирование изолирующей](/documents_6/1ba52deeb647d3df98a300ae251b70af/img44.jpg)
Содержание слайда: Формирование изолирующей области