Презентация Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда онлайн
На нашем сайте вы можете скачать и просмотреть онлайн доклад-презентацию на тему Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда абсолютно бесплатно. Урок-презентация на эту тему содержит всего 34 слайда. Все материалы созданы в программе PowerPoint и имеют формат ppt или же pptx. Материалы и темы для презентаций взяты из открытых источников и загружены их авторами, за качество и достоверность информации в них администрация сайта не отвечает, все права принадлежат их создателям. Если вы нашли то, что искали, отблагодарите авторов - поделитесь ссылкой в социальных сетях, а наш сайт добавьте в закладки.
Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
- Тип файла:ppt / pptx (powerpoint)
- Всего слайдов:34 слайда
- Для класса:1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
- Размер файла:1.32 MB
- Просмотров:95
- Скачиваний:0
- Автор:неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд
Содержание слайда: Моделирование технологических процессов
Лекция 5
№2 слайд
Содержание слайда: Вопросы к экзамену
Особенности процесса постимплантационной диффузии. TED-эффект.
Термическое окисление кремния. Модель Дила-Гроува.
Допущения при выводе модели Дила-Гроува. Константы линейного и параболического роста.
Основные этапы численного моделирования процесса окисления. Модель Массуда для начального этапа процесса окисления.
№3 слайд
Содержание слайда:
№4 слайд
Содержание слайда:
№5 слайд
Содержание слайда:
№6 слайд
Содержание слайда:
№7 слайд
Содержание слайда:
№8 слайд
Содержание слайда:
№9 слайд
Содержание слайда:
№10 слайд
Содержание слайда:
№11 слайд
Содержание слайда:
№12 слайд
Содержание слайда:
№13 слайд
Содержание слайда:
№14 слайд
Содержание слайда:
№15 слайд
Содержание слайда:
№16 слайд
Содержание слайда: Теоретические основы процесса окисления кремния
Модель Дила-Гроува рассматривает процесс термического окисления кремния, как состоящий из двух этапов
массопереноса окислителя в растущем окисле
протекания химической реакции кремния с окислителем.
№17 слайд
Содержание слайда: Зависимость толщины окисла кремния от времени при термическом окислении
№18 слайд
Содержание слайда: Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува
Для первого этапа – адсорбции окислителя на внешней поверхности слоя SiO2 предполагается, что молекулы O2 не диссоциируют.
В этом случае справедлив закон Генри С*~ P.
В случае полной диссоциации С*~ P0.5 для реакции O2 ↔ 2O.
В настоящее время состояние молекул кислорода в момент адсорбции и заряд частиц окислителя окончательно не выявлены
№19 слайд
Содержание слайда: Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение)
На этапе диффузии окислителя к поверхности кремния теоретически возможен и обратный процесс.
Эксперименты показывают, что вероятность обратного процесса – диффузии кремния через пленку окисла навстречу кислороду ничтожно мала.
Неясно, в каком точно виде диффундирует окислитель.
Наиболее вероятное предположение – диффузия O2- по междоузлиям оксида без взаимодействия с кислородом решетки
Уравнение для потока F2, описывающее процесс диффузии, является упрощенным представлением диффузионного уравнения
№20 слайд
Содержание слайда: Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение)
Относительно химической реакции на границе Si - SiO2: считается, что ее порядок равен единице.
Изменение внутренней структуры образующегося окисла не учитывается.
Экспериментальные данные говорят о том, что в приграничной области имеются механические напряжения и идет генерация дефектов, что обязательно влияет на скорость протекающей химической реакции
№21 слайд
Содержание слайда: Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение)
Неявно присутствуют следующие допущения:
- процессы переноса и протекание химической реакции рассматриваются отдельно и независимо друг от друга;
- наличие растворенного в кремнии кислорода считается не существенным;
- все процессы считаются квазистационарными, т.е.
№22 слайд
Содержание слайда: Константы линейного и параболического роста
№23 слайд
Содержание слайда: Факторы, влияющие на значение констант линейного и параболического роста
№24 слайд
Содержание слайда: Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления
Точное моделирование окисления и других термических операций, которые изменяют состав и структуру слоев должно включать моделирование следующих процессов:
химические реакции на границах раздела слоев, состоящие из растворения частиц,
реакции частиц с материалом слоя,
образование нового слоя;
№25 слайд
Содержание слайда: Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления
сегрегация примеси на границах раздела слоев;
диффузия примеси;
№26 слайд
Содержание слайда: Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления
экранирование потоков частиц слоями и границами раздела;
механическая деформация слоевой структуры как результат протекания химических реакций.
№27 слайд
Содержание слайда: Расчет окислительного процесса
- решение уравнения растворения – диффузии – химической реакции для частиц окислителя,
т.е. расчет процесса диффузии частиц окислителя с граничными условиями на границах раздела в виде уравнений химических реакций/растворения;
№28 слайд
Содержание слайда: Расчет окислительного процесса
- оценка скоростей образования и поглощения на границе раздела и определение граничных условий для расчета механических напряжений;
- расчет механических напряжений;
№29 слайд
Содержание слайда: Расчет окислительного процесса
- вычисление граничных условий и решение уравнения диффузии примеси;
- расчет изменения толщин слоев;
локальное обновление сетки в окрестности движущихся границ раздела,
интерполяция концентраций,
если необходимо, полное обновление сетки.
№30 слайд
Содержание слайда: Модель Массуда
Позволяет с более высокой точностью моделировать ускоренный начальный этап окисления за счет введения дополнительных параметров С и L, определяющих начальный этап роста окисла
№31 слайд
Содержание слайда: Моделирование окисления в программе Sprocess.
Используются три реагента – кислород, пары воды и N2O.
Основной моделью, устанавливаемой по умолчанию при расчете скорости роста окисла в одномерном случае, является модель Массуда
Константы А, В, С, L определяются в зависимости от парциального давления окислительных реагентов, в общем случае для смешанной окислительной атмосферы произвольного состава
№32 слайд
Содержание слайда: Константа параболического роста
№33 слайд
Содержание слайда: Константа линейного роста
№34 слайд
Содержание слайда: Параметры модели Массуда
Скачать все slide презентации Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда одним архивом:
