Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
Тип файла:
ppt / pptx (powerpoint)
Всего слайдов:
31 слайд
Для класса:
1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
Размер файла:
3.99 MB
Просмотров:
120
Скачиваний:
3
Автор:
неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд![Наномеханика Nanomechanics of](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img0.jpg)
Содержание слайда: Наномеханика
Nanomechanics of materials and systems
Lecture 13
MEMS and NEMS sensors
МЭМС и НЭМС датчики
№2 слайд![Дизайн МЭМС и НЭМС Design of](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img1.jpg)
Содержание слайда: Дизайн МЭМС и НЭМС Design of MEMS&NEMS
Принцип работы
Набор элементов системы
пассивные
датчики
актуаторы (приводы)
Анализ, расчет, моделирование
предельно достижимые параметры
погрешности и шумы
предельные эксплуатационные параметры
Разработка технологии
последовательность этапов технологии
оборудование и материалы
себестоимость производства
Разработка отдельных этапов
определение режимов технологических процессов
совместимость различных этапов
№3 слайд![Датчики в различных](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img2.jpg)
Содержание слайда: Датчики в различных устройствах МЭМС/НЭМС
MEMS&NEMS sensor applications
№4 слайд![Термоэлектрический датчик](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img3.jpg)
Содержание слайда: Термоэлектрический датчик
Thermoelectric sensor
№5 слайд![Датчик на основе pn-перехода](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img4.jpg)
Содержание слайда: Датчик на основе pn-перехода
P-N junction temperature sensor
№6 слайд![Терморезистивный датчик](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img5.jpg)
Содержание слайда: Терморезистивный датчик Thermistor
Большой терморезистивный коэффициент
(0.2-0.3 %/K)
Large temperature coefficient of resistance
Малая теплоемкость
Small thermal capacitance
Низкий шум
(limit is thermal and 1/f noise)
Low thermal noise
Малая инерционность
Small thermal inertia
Малая теплопроводность
(the theoretical lowest limit is 10-9 W/K due to radiative heat loss)
Small thermal conductivity
№7 слайд![Физические свойства некоторых](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img6.jpg)
Содержание слайда: Физические свойства некоторых материалов НЭМС
Physical properties of some NEMS materials
№8 слайд![Инфракрасные датчики и](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img7.jpg)
Содержание слайда: Инфракрасные датчики и массивы датчиков
Infrared sensors and their arrays
№9 слайд![Датчик газового потока Gas](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img8.jpg)
Содержание слайда: Датчик газового потока Gas flow sensor
№10 слайд![Датчик СО - Carbon monoxide](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img9.jpg)
Содержание слайда: Датчик СО - Carbon monoxide sensor
№11 слайд![Пьезорезистивный датчик](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img10.jpg)
Содержание слайда: Пьезорезистивный датчик Piezoresistors
№12 слайд![Пьезорезистивный датчик](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img11.jpg)
Содержание слайда: Пьезорезистивный датчик давления
Piezoresistive pressure sensor
№13 слайд![Последовательность](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img12.jpg)
Содержание слайда: Последовательность производства датчика давления
Technological stages of pressure sensor
№14 слайд![Миниатюрный абсолютный](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img13.jpg)
Содержание слайда: Миниатюрный абсолютный пьезорезистивный датчик давления. Absolute pressure sensor.
№15 слайд![Датчик давления Pressure](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img14.jpg)
Содержание слайда: Датчик давления Pressure sensor
№16 слайд![Датчик кровяного давления](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img15.jpg)
Содержание слайда: Датчик кровяного давления Blood pressure sensor
№17 слайд![Высокотемпературный датчик](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img16.jpg)
Содержание слайда: Высокотемпературный датчик давления
High-temperature pressure sensor
№18 слайд![Пьезоэлектрический элемент](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img17.jpg)
Содержание слайда: Пьезоэлектрический элемент (датчик или привод)
Piezoelectric element (sensor or actuator)
№19 слайд![Пьезоэлектрические](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img18.jpg)
Содержание слайда: Пьезоэлектрические коэффициенты различных материалов Piezoelectric coefficients
№20 слайд![Датчики ускорения](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img19.jpg)
Содержание слайда: Датчики ускорения Acceleration sensor
№21 слайд![Требования к датчикам](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img20.jpg)
Содержание слайда: Требования к датчикам ускорения
Requirements to acceleration sensors
Accelerometers for airbag crash sensing are rated for a full range of ±50G and a bandwidth of about one kilohertz.
Devices for measuring engine knock or vibration have a range of about 1G, but must resolve small accelerations (<100 μG) over a large bandwidth (>10 kHz).
Modern cardiac pacemakers monitor the level of human activity, and correspondingly adjust the stimulation frequency. The ratings on such sensors are ±2G and a bandwidth of less than 50 Hz, but they require extremely low power consumption.
Accelerometers for military applications can exceed a rating of 1,000G.
Cross-axis rejection ratios in excess of 40 dB are always desirable.
Shock immunity is defined in terms of a peculiar but more practical test involving dropping the device from a height of one meter over concrete - a dynamic peak of 10,000G with excitation of various resonant modes that may cause catastrophic failure.
№22 слайд![Базовая структура датчика](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img21.jpg)
Содержание слайда: Базовая структура датчика ускорения
Base structure of acceleration sensor
№23 слайд![Пьезорезистивный датчик](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img22.jpg)
Содержание слайда: Пьезорезистивный датчик ускорения
Piezoresistive acceleration sensor
№24 слайд![Емкостной датчик Capacitor](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img23.jpg)
Содержание слайда: Емкостной датчик Capacitor sensor
№25 слайд![Емкостной датчик ускорения.](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img24.jpg)
Содержание слайда: Емкостной датчик ускорения. Capacitive accelerometer.
№26 слайд![Емкостной датчик ускорения](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img25.jpg)
Содержание слайда: Емкостной датчик ускорения – последовательность производства
Production of capacitive accelerometer
№27 слайд![Емкостной датчик ускорения.](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img26.jpg)
Содержание слайда: Емкостной датчик ускорения. Capacitive accelerometer.
№28 слайд![Емкостной датчик ускорения,](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img27.jpg)
Содержание слайда: Емкостной датчик ускорения, произведенный с помощью DRIE. Capacitive accelerometer using DRIE.
№29 слайд![Сравнение пьезорезистивного,](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img28.jpg)
Содержание слайда: Сравнение пьезорезистивного, емкостного и электромагнитного методов измерения
Comparison of different sensing
№30 слайд![To be continued](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img29.jpg)
Содержание слайда: To be continued
№31 слайд![Домашнее задание](/documents_6/ef98e8775e392b86541623d2ec70f5c3/img30.jpg)
Содержание слайда: Домашнее задание