Презентация Microelectromechanical Systems (MEMS) An introduction онлайн

На нашем сайте вы можете скачать и просмотреть онлайн доклад-презентацию на тему Microelectromechanical Systems (MEMS) An introduction абсолютно бесплатно. Урок-презентация на эту тему содержит всего 36 слайдов. Все материалы созданы в программе PowerPoint и имеют формат ppt или же pptx. Материалы и темы для презентаций взяты из открытых источников и загружены их авторами, за качество и достоверность информации в них администрация сайта не отвечает, все права принадлежат их создателям. Если вы нашли то, что искали, отблагодарите авторов - поделитесь ссылкой в социальных сетях, а наш сайт добавьте в закладки.
Презентации » Технология » Microelectromechanical Systems (MEMS) An introduction


Оцените!
Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
Смотреть онлайн
Скачать
  • Тип файла:
    ppt / pptx (powerpoint)
  • Всего слайдов:
    36 слайдов
  • Для класса:
    1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
  • Размер файла:
    3.25 MB
  • Просмотров:
    77
  • Скачиваний:
    0
  • Автор:
    неизвестен


Слайды и текст к этой презентации:

№1 слайд
Microelectromechanical
Содержание слайда: Microelectromechanical Systems (MEMS) An introduction Jr-Lung (Eddie) Lin Department of Mechanical and Automation Engineering, I-Shuo University Email: ljl@isu.edu.tw
№2 слайд
Outline Introduction
Содержание слайда: Outline Introduction Applications Passive structures Sensors Actuators Future Applications MEMS micromachining technology Bulk micromachining Surface micromachining LIGA Wafer bonding Thin film MEMS Motivation Microresonators MEMS resources Conclusions
№3 слайд
What are MEMS?
Содержание слайда: What are MEMS? (Micro-electromechanical Systems) Fabricated using micromachining technology Used for sensing, actuation or are passive micro-structures Usually integrated with electronic circuitry for control and/or information processing
№4 слайд
-D Micromachined Structures
Содержание слайда: 3-D Micromachined Structures
№5 слайд
-D Micromachined Structures
Содержание слайда: 3-D Micromachined Structures
№6 слайд
Applications Passive
Содержание слайда: Applications: Passive Structures
№7 слайд
Applications Sensors Pressure
Содержание слайда: Applications: Sensors Pressure sensor: Piezoresistive sensing Capacitive sensing Resonant sensing Application examples: Manifold absolute pressure (MAP) sensor Disposable blood pressure sensor (Novasensor)
№8 слайд
Piezoresistive Pressure
Содержание слайда: Piezoresistive Pressure Sensors
№9 слайд
Piezoresistive Pressure
Содержание слайда: Piezoresistive Pressure Sensors
№10 слайд
Applications Sensors
Содержание слайда: Applications: Sensors Acceleration Air bag crash sensing Seat belt tension Automobile suspension control Human activity for pacemaker control Vibration Engine management Security devices Monitoring of seismic activity Angle of inclination Vehicle stability and roll
№11 слайд
Accelerometers
Содержание слайда: Accelerometers
№12 слайд
Accelerometers
Содержание слайда: Accelerometers
№13 слайд
Capacitive Accelerometers
Содержание слайда: Capacitive Accelerometers
№14 слайд
Applications Actuators Texas
Содержание слайда: Applications: Actuators Texas Instruments Digital Micromirror DeviceTM
№15 слайд
Digital Micromirror Device
Содержание слайда: Digital Micromirror Device
№16 слайд
Digital Micromirror Device
Содержание слайда: Digital Micromirror Device
№17 слайд
Some future applications
Содержание слайда: Some future applications Biological applications: Microfluidics Lab-on-a-Chip Micropumps Resonant microbalances Micro Total Analysis systems Mobile communications: Micromechanical resonator for resonant circuits and filters Optical communications: Optical switching
№18 слайд
Microfluidics DNA Analysis
Содержание слайда: Microfluidics / DNA Analysis
№19 слайд
Basic microfabrication
Содержание слайда: Basic microfabrication technologies Deposition Chemical vapor deposition (CVD/PECVD/LPCVD) Epitaxy Oxidation Evaporation Sputtering Spin-on methods Etching Wet chemical etching Istropic Anisotropic Dry etching Plasma etch Reactive Ion etch (RIE, DRIE) Patterning Photolithography X-ray lithography
№20 слайд
Bulk micromachining
Содержание слайда: Bulk micromachining
№21 слайд
Bulk micromachining
Содержание слайда: Bulk micromachining
№22 слайд
Bulk micromachining Pressure
Содержание слайда: Bulk micromachining: Pressure sensors
№23 слайд
Surface Micromachining
Содержание слайда: Surface Micromachining
№24 слайд
Surface Micromachining
Содержание слайда: Surface Micromachining
№25 слайд
Surface Micromachining
Содержание слайда: Surface Micromachining
№26 слайд
Surface Micromachining
Содержание слайда: Surface Micromachining
№27 слайд
LIGA X-ray Lithography,
Содержание слайда: LIGA – X-ray Lithography, Electroplating (Galvanoformung), Molding (Abformung)
№28 слайд
LIGA
Содержание слайда: LIGA
№29 слайд
Wafer bonding- Anodic
Содержание слайда: Wafer bonding- Anodic
№30 слайд
Summary MEMS fabrication MEMS
Содержание слайда: Summary: MEMS fabrication MEMS technology is based on silicon microelectronics technology Main MEMS techniques Bulk micromachining Surface micromachining LIGA and variations Wafer bonding
№31 слайд
Thin-film MEMS
Содержание слайда: Thin-film MEMS
№32 слайд
Surface micromachining on
Содержание слайда: Surface micromachining on glass
№33 слайд
Electrostatic Actuation
Содержание слайда: Electrostatic Actuation
№34 слайд
Optical detection
Содержание слайда: Optical detection
№35 слайд
Resonance frequency
Содержание слайда: Resonance frequency
№36 слайд
MEMS Resources
Содержание слайда: MEMS Resources
Скачать все slide презентации Microelectromechanical Systems (MEMS) An introduction одним архивом:
Скачать
Похожие презентации