Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
Тип файла:
ppt / pptx (powerpoint)
Всего слайдов:
16 слайдов
Для класса:
1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
Размер файла:
1.62 MB
Просмотров:
60
Скачиваний:
0
Автор:
неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд
Содержание слайда: Образец презентации к защите проекта 2
№2 слайд
Содержание слайда: Разработка методики обеспечения высокой
адгезионной способности тонких металлических плёнок
в микро- и наноэлектронике
Чупракова Наталья
ученица 11 класса ГБОУ РМЭ «Многопрофильный лицей-интернат», п. Руэм
№3 слайд
Содержание слайда: Актуальность, объект и предмет исследования:
Актуальность: для того чтобы покрытие обладало хорошей адгезионной способностью необходимо использовать многослойные тонкоплёночные структуры и нужно разработать методику нанесения этих структур, позволяющую обеспечить высокую адгезионную способность как слоёв между собой, так и совокупности слоёв с подложкой
Объект: адгезионная способность тонких металлических плёнок
Предмет: обеспечение высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок
№4 слайд
Содержание слайда: Цель работы и задачи:
Цель: разработать методику обеспечения высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок в многослойной тонкоплёночной структуре микро- и наноэлектроники;
Задачи:
1. выявить влияние нагрева металлических тонкоплёночных структур на адгезионную способность тонких металлических плёнок;
2. разработать методику обеспечения высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок в многослойной тонкоплёночной структуре микро- и наноэлектроники.
№5 слайд
Содержание слайда: Результаты социологического опроса в ГБОУ РМЭ «Многопрофильный лицей-интернат», п. Руэм
№6 слайд
Содержание слайда: Понятие адгезионной способности плёнок
Адгезия (от лат. adhaesio — прилипание) в физике — сцепление поверхностей разнородных твёрдых и/или жидких тел. Адгезия обусловлена межмолекулярным взаимодействием.
№7 слайд
Содержание слайда: Теории адгезии
Адгезия представляет собой сложное явление, и с этим связано существование множества теорий, трактующих явление адгезии с различных позиций. В настоящее время известны следующие теории адгезии:
Адсорбционная теория. Согласно этой теории адгезия осуществляется в результате адсорбции адгезива на порах и трещинах поверхности подложки.
Механическая теория. Теория рассматривает адгезию как результат проявления сил межмолекулярного взаимодействия между контактирующими молекулами адгезива и подложки.
Электрическая теория. Основное положение этой теории заключается в том, что система адгезив - подложка отождествляется с конденсатором, а двойной электрический слой, возникающий при контакте двух разнородных поверхностей, - с прослойкой конденсатора.
Электронная теория.. Согласно этой теории, адгезия рассматривается как результат молекулярного взаимодействия поверхностей, различных по своей природе.
Диффузионная теория. Адгезия, согласно данной теории, сводится к взаимной или односторонней диффузии молекул адгезива и подложки.
Химическая теория. Сторонники этой теории считают, что во многих случаях адгезия может быть объяснена не физическим, а химическим взаимодействием.
№8 слайд
Содержание слайда: Оборудование для эксперимента
№9 слайд
Содержание слайда: Оборудование для эксперимента
№10 слайд
Содержание слайда: Зависимость сцепления тонкой плёнки меди (Cu) с подложкой из ситалла от температуры их нагрева
№11 слайд
№12 слайд
Содержание слайда: Исследование структуры тонких плёнок меди (Cu) и хрома (Cr)
№13 слайд
Содержание слайда: Метод магнетронного распыления – перспективный метод получения слоистых структур
№14 слайд
Содержание слайда: Предлагаемая методика обеспечения высокой адгезии
№15 слайд
Содержание слайда: Выводы
1. С увеличением нагревания металлических тонкоплёночных проводящих структур Sn/ситалл и Cu/стекло адгезионная способность тонких металлических плёнок резко падает, в некоторых случаях, с незначительным последующим увеличением, что можно объяснить большим различием коэффициентов термического расширения плёнки и подложки и градиентом термического нагрева.
2. Исследования структур адгезионных плёнок Cr/ситалл и Ti/ситалл показали, что эти плёнки обладают мощной адгезией к подложкам. Их так и не удалось оторвать от подложки даже при нагревании (ломалась подложка, а плёнка не отрывалась).
3. Предложена новая методика обеспечения высокой адгезионной способности тонких проводящих металлических плёнок, основанная на регулировании величины и градиента переходных адгезионных слоёв в технологическом процессе получения многослойной тонкоплёночной структуры микро- и наноэлектроники с использованием метода магнетронного распыления. Оформляется заявка на получение патента РФ.
№16 слайд
Содержание слайда: Практическая значимость работы
Результаты исследований могут быть применены в электронной промышленности, машиностроении и везде, где используются многослойные тонкоплёночные структуры.