Презентация Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом онлайн
На нашем сайте вы можете скачать и просмотреть онлайн доклад-презентацию на тему Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом абсолютно бесплатно. Урок-презентация на эту тему содержит всего 26 слайдов. Все материалы созданы в программе PowerPoint и имеют формат ppt или же pptx. Материалы и темы для презентаций взяты из открытых источников и загружены их авторами, за качество и достоверность информации в них администрация сайта не отвечает, все права принадлежат их создателям. Если вы нашли то, что искали, отблагодарите авторов - поделитесь ссылкой в социальных сетях, а наш сайт добавьте в закладки.
Оцените презентацию от 1 до 5 баллов!
- Тип файла:ppt / pptx (powerpoint)
- Всего слайдов:26 слайдов
- Для класса:1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11
- Размер файла:864.00 kB
- Просмотров:66
- Скачиваний:1
- Автор:неизвестен
Слайды и текст к этой презентации:
№1 слайд
Содержание слайда: Изготовление биполярной ИС
с изоляцией транзисторов
p-n-переходом
№2 слайд
Содержание слайда: Создание скрытого коллекторного слоя
Обработка поверхности пластины кремния p -типа
Окисление
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка мышьяка (диффузия из источника неограниченной мощности)
Удаление оксида
Выращивание эпитаксиального слоя кремния n -типа
Окисление с разгонкой примеси
№3 слайд
Содержание слайда: Создание изолирующих областей
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№4 слайд
Содержание слайда: Создание глубокого коллектора
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№5 слайд
Содержание слайда: Создание пассивной базы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№6 слайд
Содержание слайда: Создание активной базы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№7 слайд
Содержание слайда: Создание эмиттера
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№8 слайд
Содержание слайда: Создание металлизации
Фотолитография – вскрытие окон в оксиде для создания контактов к областям
Напыление алюминия с 1% кремния
Фотолитография – формирование рисунка в слое металла
Нанесение оксида кремния плазмохимическим методом
Термообработка – «вжигание» контактов
Фотолитография – вскрытие окон в диэлектрике над контактными площадками
№9 слайд
Содержание слайда: Изготовление биполярной ИС
с изопланарной изоляцией транзисторов
№10 слайд
Содержание слайда: Локальное окисление кремния
№11 слайд
Содержание слайда: Создание скрытого коллекторного слоя
Обработка поверхности пластины кремния p -типа
Окисление
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка мышьяка (диффузия из источника неограниченной мощности)
Удаление оксида
Выращивание эпитаксиального слоя кремния n -типа
Окисление
№12 слайд
Содержание слайда: Создание изолирующих областей
Нанесение нитрида кремния химическим осаждением из газовой фазы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде и нитриде
Травление канавок на половину глубины изолирующих областей
Фотолитография – средняя канавка закрывается фоторезистом
Ионная имплантация бора в канавки
Удаление фоторезиста
Окисление
Удаление нитрида кремния
№13 слайд
Содержание слайда: Создание глубокого коллектора
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№14 слайд
Содержание слайда: Создание пассивной базы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№15 слайд
Содержание слайда: Создание активной базы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№16 слайд
Содержание слайда: Создание эмиттера
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№17 слайд
Содержание слайда: Создание металлизации
Фотолитография – вскрытие окон в оксиде для создания контактов к областям
Напыление алюминия с 1% кремния
Фотолитография – формирование рисунка в слое металла
Нанесение оксида кремния плазмохимическим методом
Термообработка – «вжигание» контактов
Фотолитография – вскрытие окон в диэлектрике над контактными площадками
№18 слайд
Содержание слайда: Изготовление биполярной ИС
с щелевой изоляцией транзисторов
№19 слайд
Содержание слайда:
№20 слайд
Содержание слайда: Создание скрытого коллекторного слоя
Обработка поверхности пластины кремния p -типа
Загонка мышьяка (диффузия из источника неограниченной мощности)
Выращивание эпитаксиального слоя кремния n -типа
Окисление
№21 слайд
Содержание слайда: Создание изолирующих областей
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Ионное травление канавок до глубины средней канавки
Фотолитография – средняя канавка закрывается фоторезистом
Ионное травление изолирующих канавок
Ионная имплантация бора в канавки
Удаление фоторезиста
Окисление
Осаждение поликремния в канавки
Окисление
№22 слайд
Содержание слайда: Создание глубокого коллектора
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№23 слайд
Содержание слайда: Создание пассивной базы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№24 слайд
Содержание слайда: Создание активной базы
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№25 слайд
Содержание слайда: Создание эмиттера
Фотолитография – формирование рисунка в оксиде
Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности)
Окисление с разгонкой примеси
№26 слайд
Содержание слайда: Создание металлизации
Фотолитография – вскрытие окон в оксиде для создания контактов к областям
Напыление алюминия с 1% кремния
Фотолитография – формирование рисунка в слое металла
Нанесение оксида кремния плазмохимическим методом
Термообработка – «вжигание» контактов
Фотолитография – вскрытие окон в диэлектрике над контактными площадками
Скачать все slide презентации Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом одним архивом:
